China Ion-Pabrik Pemasok Peralatan Film Tipis Evaporasi Berbantuan

Ikhtisar Produk

Peralatan Film Tipis Penguapan Berbantuan IAE-Seri Ion-mengintegrasikan pengendapan uap fisik (PVD) dengan pemboman berkas ion-waktu nyata. Dengan mengarahkan ion energik ke substrat selama penguapan termal atau berkas elektron, sistem mentransfer momentum ke adatom yang mengembun, sehingga merestrukturisasi struktur mikro film yang sedang tumbuh.

Perpindahan energi kinetik ini menghilangkan rongga kolom, menekan penyerapan kelembapan, dan mengunci indeks bias terhadap perubahan kelembapan lingkungan. Dibuat untuk operasi multi-shift yang berkelanjutan di jalur produksi optik dan semikonduktor, platform ini menangani substrat mulai dari optik laser presisi tinggi hingga wafer silikon.

Ion-Peralatan Evaporasi Vakum Berbantuan
Sistem Penguapan Vakum Berbantuan Ion-mengintegrasikan sumber penguapan berkas termal atau elektron-vakum termal tinggi dengan sumber ion tipe Kaufman-atau End-Hall. Dengan membombardir film yang...
Lihat lebih
Ion-Sistem Deposisi Film Tipis Berbantuan
Sistem Deposisi Film Tipis Berbantuan Ion mengintegrasikan berkas elektron multi-kantong/evaporasi termal dengan sumber ion tipe End-Hall atau Kaufman-performa tinggi. Selama pengendapan uap fisik...
Lihat lebih
Peralatan Evaporasi Berbantuan Sinar Ion
Sistem IBAE menggabungkan berkas-elektron atau penguapan termal dengan sumber ion berkas-lebar yang terintegrasi. Pemboman ion secara bersamaan selama pertumbuhan film mentransfer energi kinetik...
Lihat lebih
Peralatan Deposisi Film Tipis Berbantuan Ion-
Peralatan Deposisi Film Tipis Berbantuan IA-Seri Ion-mengintegrasikan penguapan termal berkas-elektron dengan sumber ion Kaufman atau End-Hall. Pemboman ion yang energik (campuran argon/oksigen)...
Lihat lebih
Ion-Sistem Film Tipis Evaporasi Berbantuan
Sistem Film Tipis Ion-Assisted Evaporation (IAE) mengintegrasikan deposisi uap fisik (PVD) dengan bombardir berkas ion energik. Selama penguapan termal atau berkas elektron, sumber ion Kaufman...
Lihat lebih
Ion-Peralatan Film Tipis Evaporasi Berbantuan
Sistem-Ion-Assisted Evaporation (IAE) tingkat industri yang mengintegrasikan evaporasi berkas-elektron multi-kantong dengan sumber berkas ion energik (konfigurasi End-Hall atau Kaufman). Pemboman...
Lihat lebih

Spesifikasi Teknis

Parameter	Spesifikasi
Tekanan Dasar Tertinggi	< 5.0 × 10⁻⁵ Pa (achieved within 45 mins via cryogenic/turbomolecular pumping)
Sumber Penguapan	Multi-saku E-beam gun (4 × 15cc hingga 40cc) dan sumber panas resistif
Jenis Sumber Ion	Sumber ion tipe Gridless End-Hall / Kaufman-(tegangan pancaran: 50 – 1500 V, arus ion: 0,1 – 3 A)
Kontrol Ketebalan Film	Keseimbangan mikro kristal kuarsa (QCM) + Sistem pemantauan optik (OMS), presisi ± 0,1 nm
Perlengkapan Substrat	Perlengkapan rotasi planet, radius kubah disesuaikan dengan geometri substrat
Pemanasan Substrat	Rangkaian pemanas berseri, hingga 350 derajat dengan keseragaman PID ± 2 derajat
Arsitektur Kontrol	PLC + PC Industri, eksekusi resep otomatis, pencatatan data yang sesuai dengan SECS/GEM

Ion-Proses Deposisi Terbantu

Generasi Uap:

Bahan diuapkan dari wadah e-beam atau perahu termal dengan laju pengendapan terkendali (0,1 – 2,0 nm/s).

Perpindahan Momentum:

Ion energik (Ar⁺, O⁺) membombardir permukaan substrat bersamaan dengan aliran uap yang datang dari sinar E-atau sumber termal.

Modifikasi Struktur Mikro:

Dampak ion meningkatkan mobilitas permukaan adatom, mencegah pertumbuhan butir berbentuk kolom dan mencapai kepadatan mendekati-bulk (kepadatan pengepakan > 99%).

Koreksi Stoikiometri:

Bantuan ion reaktif (O₂) memastikan oksidasi lengkap sub-oksida dalam film oksida logam (misalnya, Ta₂O₅, Nb₂O₅, SiO₂), menghilangkan pita serapan dalam spektrum UV-NIR.

Bahan Film

Oksida:

SiO₂, Ta₂O₅, TiO₂, Nb₂O₅, HfO₂ (Stabilitas indeks bias tinggi untuk filter optik).

Fluorida:

MgF₂, LaF₃ (Lapisan indeks bias rendah untuk pelapis AR broadband).

Logam:

Al, Ag, Au, Ti (Lapisan adhesi dan reflektor logam).

Aplikasi

Optik Laser & Presisi:

Filter bandpass, cermin dichroic, dan lapisan pelindung laser memerlukan ambang kerusakan terinduksi laser (LIDT)-yang tinggi dan pergeseran spektral nol di bawah tekanan termal.

Kaca Penutup LiDAR:

Film tipis anti-reflektif (AR) dan anti-kotoran yang tahan lama dan tahan terhadap cuaca luar ruangan yang keras.

Kemasan Semikonduktor:

Lapisan enkapsulasi-penghalang kelembapan dan bantalan kontak logam diendapkan pada suhu media rendah.

Sensor Biomedis:

Lapisan interferensi optik biokompatibel untuk chip mikrofluida diagnostik.

Kustomisasi

Ruang dan tata letak internal dirancang sesuai dengan lokasi produksi dan persyaratan proses tertentu:

01.

Dimensi Ruang:

Dapat diskalakan dari unit R&D R=600 mm hingga sistem produksi berkapasitas tinggi R=1200 mm-.

02.

Paket Pemompaan:

Dapat dikonfigurasi dengan pompa turbomolekuler Maglev, cryopumps, dan saluran pendukung Roots blower berdasarkan kebutuhan beban gas.

03.

Integrasi Sumber:

Konfigurasi-sumber ion ganda atau pengaturan deposisi ko-untuk paduan kompleks dan film gradien multi-lapisan.

04.

Tingkat Otomatisasi:

Integrasi dengan sistem transfer substrat ruang bersih otomatis (alat cluster EFEM / Vakum).

Kontrol Kualitas

Deteksi Kebocoran:

Setiap ruang vakum diuji kebocoran heliumnya-menggunakan spektrometer massa (laju kebocoran < 1,0 × 10⁻¹⁰ Pa·m³/s).

Ketertelusuran Komponen:

Katup vakum, pengontrol aliran massa (MFC), dan catu daya bersumber dari merek industri Tier-1 yang memenuhi syarat (MKS, Inficon, PPN).

Pengujian Penerimaan Pabrik (FAT):

Jalankan-pengujian yang memverifikasi tekanan dasar, kurva pemompaan, stabilitas sumber, dan ketahanan ruang kosong 24-jam terus menerus sebelum pengiriman.

Validasi Metrologi:

Sampel diverifikasi melalui spektrofotometer (transmitansi/reflektansi) dan mikroskop gaya atom (kekasaran permukaan Ra <0,5 nm).

Instalasi & Dukungan Teknis

Panduan Persiapan Lokasi:

Persyaratan utilitas komprehensif yang disediakan sebelum pengiriman (aliran/tekanan air pendingin, udara bertekanan ruang bersih, distribusi daya, ventilasi pembuangan).

Komisioning Turnkey:

Insinyur layanan lapangan menangani perakitan mekanis, pemanggangan vakum-, kalibrasi berkas ion, dan penandatanganan resep proses awal-di-lokasi.

Pelatihan Operator:

Pelatihan langsung terstruktur-yang mencakup pemeliharaan rutin, keamanan vakum, pengoperasian perangkat lunak, dan pemecahan masalah.

Dukungan Siklus Hidup:

Antarmuka diagnostik jarak jauh untuk pemecahan masalah perangkat lunak dengan cepat; stok regional barang-barang keausan kritis (filamen, cawan lebur, pelindung) dikirim dalam waktu 48 jam.

Pertanyaan Umum

T: Bagaimana bantuan ion mencegah pergeseran spektral pada filter optik?

J: Penguapan termal konvensional meninggalkan rongga mikroskopis dalam film, yang menyerap kelembapan sekitar, mengubah ketebalan fisik dan indeks bias. Pemboman ion meningkatkan kepadatan pengepakan film di atas 99%, menyegel struktur mikro terhadap penetrasi kelembapan dan mengunci parameter optik agar stabil di lingkungan dengan kelembapan bervariasi.

T: Berapa interval perawatan umum untuk jaringan sumber ion?

J: Tergantung pada gas proses (Ar vs. O₂ reaktif) dan daya pengoperasian, pemeliharaan jaringan diperlukan setiap 150 hingga 300 jam pemrosesan. Ujung Tanpa Grid-Desain aula memperluas jendela operasional secara signifikan dengan menghilangkan jaringan fisik yang rentan terhadap keausan.

T: Dapatkah peralatan ini berintegrasi dengan otomatisasi pabrik yang ada?

J: Ya. Perangkat lunak kontrol mendukung protokol SECS/GEM dan OPC UA, memungkinkan koneksi langsung ke Sistem Eksekusi Manufaktur (MES) untuk manajemen resep dan pelacakan lot.

Kami terkenal-sebagai salah satu produsen dan pemasok peralatan film tipis evaporasi berbantuan ion-terkemuka di Tiongkok. Jika Anda akan membeli peralatan film tipis evaporasi berbantuan ion-khusus buatan China, selamat datang untuk mendapatkan daftar harga dari pabrik kami. Untuk konsultasi harga, hubungi kami.

Peralatan Film Tipis Tingkat Lanjut, Sistem deposisi film tipis, Peralatan film tipis untuk aplikasi manufaktur perangkat pintar