Sistem Evaporasi Vakum Berkas Elektron ini melakukan pengendapan uap fisik (PVD) logam, oksida, dan dielektrik dengan titik leleh tinggi. Dengan mengarahkan berkas elektron terfokus ke dalam tungku tembaga berpendingin air, sistem menghasilkan suhu lokal hingga 3000 derajat sekaligus menjaga dinding ruang tetap dingin, mencegah interaksi wadah dan menjaga kemurnian film.
Dirancang untuk penelitian dan pengembangan ruang bersih dan produksi industri, arsitektur ini mengintegrasikan-ruang vakum tinggi, senjata elektron-saku banyak, defleksi berkas yang dapat diprogram, dan-pemantauan ketebalan film secara real-time.
Spesifikasi Teknis
|
Parameter Teknis |
Rentang Spesifikasi Standar |
|
Tekanan Vakum Tertinggi |
<= 5.0 x 10^-5 Pa (post-bake) |
|
Pemompaan-Waktu Hentikan |
Atmosfer hingga 1,0 x 10^-3 Pa in<= 15 minutes |
|
E-Kekuatan Senapan Sinar |
6kW hingga 30kW |
|
Tegangan Percepatan |
10 kV hingga 15 kV |
|
Perapian Wadah |
4 hingga 6 kantong tembaga berpendingin air-yang dapat diindeks |
|
Tahap Substrat |
Rotasi: 0–30 RPM; Pemanasan: hingga 600 derajat (dikontrol PID) |
|
Pemantauan Ketebalan |
Quartz Crystal Microbalance (QCM) dengan pengontrol multi-saluran |
|
Bahan Kamar |
Baja tahan karat 304/316L yang dipoles secara elektro |
Fitur Teknik Utama
Defleksi Magnetik 270 derajat:Melengkungkan berkas elektron untuk memposisikan filamen emitor menjauhi bulu-bulu penguapan, menghilangkan degradasi filamen dan memperpanjang waktu-berjalan.
Sapu Sinar yang Dapat Diprogram:Kumparan yang dikontrol mikroprosesor-mendistribusikan energi ke seluruh permukaan evaporasi, menekan pembentukan kawah, pembentukan nodul, dan semburan.
Matriks Pendinginan yang Saling Bertautan:Sensor termal dan sakelar aliran memantau cawan lebur, pompa, dan catu daya, memicu penghentian otomatis jika ambang batas terlampaui.
Konfigurasi Sistem Vakum
Kereta Hidup Seadanya:Root blower-bebas minyak dan-pompa ulir kering multitahap menghasilkan vakum dasar tanpa aliran balik hidrokarbon.
Kereta Vakum-Tinggi:Pompa kriogenik yang dipasangkan dengan katup gerbang pneumatik menghasilkan kecepatan pemompaan yang cepat untuk uap air dan gas proses.
Instrumentasi:Pengukur ionisasi katoda Pirani dan{0}}panas tertaut langsung ke matriks interlock pengaman PLC.
Kompatibilitas Bahan Film & Substrat
Bahan Evaporasi:
Logam Tahan Api:Ti, Cr, Ta, W, Mo, Al
Oksida & Fluorida:SiO2, TiO2, Ta2O5, Al2O3, HfO2, MgF2
Film Konduktif:Au, Ag, Pt
Format Substrat:Kaca optik, silika leburan, wafer silikon (200 mm / 300 mm), dan superalloy logam. Perkakas khusus mengakomodasi optik datar, lensa, atau komponen 3D.
Aplikasi Industri
Optik Presisi:Lapisan antipantul, filter tepi, dan reflektor laser.
Mikroelektronika:Lapisan benih konduktif, lapisan adhesi, dan bantalan kontak semikonduktor.
Rekayasa Permukaan:Lapisan penghalang termal (TBC) untuk komponen dirgantara.
Kustomisasi Sistem
Ukuran Kamar:Volume kapal yang ditingkatkan untuk batch percontohan atau produksi massal.
Integrasi Hibrid:Kombinasi dengan sumber termal atau katoda sputtering magnetron RF/DC.
Arsitektur Kontrol:Otomatisasi berbasis-PLC dengan manajemen resep dan pencatatan jejak audit.
Kontrol Kualitas & Pengujian Pabrik
Deteksi Kebocoran Vakum:Pengujian spektrometer massa helium (< 1 x 10^-10 Pa·m³/s threshold).
Audit Kelistrikan:Pengujian kerusakan isolasi-potensi tinggi dan validasi kontinuitas ground.
Uji Penerimaan Pabrik (FAT):Deposisi dasar dijalankan untuk memverifikasi stabilitas laju dan presisi QCM.
Komisioning & Dukungan
Pemasangan di-Situs:Penyelarasan mekanis, pemeriksaan kebocoran vakum, dan kalibrasi sistem oleh teknisi servis yang dikerahkan.
Pelatihan Operator:Petunjuk praktis terstruktur yang mencakup pemecahan masalah vakum, pertukaran filamen, dan konfigurasi resep.
Dukungan Siklus Hidup:Suku cadang pengganti penting tersedia untuk pengiriman global segera.
Pertanyaan yang Sering Diajukan
T: Berapa waktu tunggu produksi standar?
J: Konfigurasi standar memerlukan waktu 16 hingga 24 minggu sejak penandatanganan gambar-hingga pengiriman ke pabrik.
T: Bagaimana cara meminimalkan percikan material selama pengendapan oksida?
J: Melalui pola sapuan sinar yang dapat diprogram untuk memastikan distribusi termal seragam di seluruh permukaan ingot, ditambah dengan peningkatan daya yang diatur.
T: Apakah sistem ini dapat mendukung lapisan optik multi-lapisan?
J: Ya. Perapian multi-saku memungkinkan pengendapan material berbeda secara berurutan tanpa merusak ruang hampa, dikelola melalui resep QCM otomatis.
Tag populer: peralatan penguapan vakum berkas elektron, produsen, pemasok, pabrik peralatan penguapan vakum berkas elektron Cina, Sistem penguapan film tipis
