Sistem Film Tipis Penguapan Berkas Elektron

Sistem Evaporasi Berkas Elektron Seri-EBE dirancang untuk pengendapan uap fisik (PVD) logam dengan titik leleh tinggi, dielektrik, dan bahan optik. Dengan memanfaatkan berkas elektron terfokus yang dibelokkan secara magnetis langsung ke bahan sumber dalam cawan lebur berpendingin air, sistem ini mencapai tingkat pengendapan yang tinggi sekaligus menjaga lingkungan vakum bebas kontaminasi.

Ditargetkan pada lini produksi dan laboratorium penelitian tingkat lanjut, platform ini mendukung fabrikasi-film tipis-lapisan dengan kontrol laju yang presisi, sehingga cocok untuk filter interferensi optik, metalisasi semikonduktor, dan-pelapis tahan aus.

Lendutan Sinar Magnetik:Geometri e-gun yang dapat ditekuk 270 derajat menjaga filamen terlindung dari semburan material garis pandang langsung, mencegah korsleting dan degradasi filamen.

Tertutup-Kontrol Kecepatan Perulangan:Mengintegrasikan sensor kristal kuarsa multi-saluran dengan keluaran algoritme proporsional-integral-turunan (PID) untuk mengatur arus emisi dan kecepatan deposisi secara dinamis.

Dek Wadah Modular:Mekanisme pengindeksan menggunakan feedthrough ferrofluidik dan motor stepper penggerak langsung untuk peralihan wadah yang cepat dan bebas partikel dalam kondisi vakum.

Arsitektur Keselamatan yang Saling Bertautan:Interlock tingkat-perangkat keras memantau aliran air pendingin, ambang batas vakum, dan status pintu ruang untuk melindungi operator dan-komponen bertegangan tinggi.

Sub-perakitan vakum dibuat untuk kebersihan dasar dan siklus cepat:

Hidup seadanya & Garis Depan:Pompa gulir kering-bebas minyak (kapasitas: 30 m³/jam) menghilangkan aliran balik hidrokarbon ke ruang utama.

Vakum Tinggi:Pompa molekuler turbo-majemuk yang didukung oleh katup gerbang elektropneumatik dan katup sudut pneumatik.

Pemantauan Tekanan:Gabungan pengukur ion Pirani dan Bayard-Alpert memberikan umpan balik-waktu nyata di seluruh atmosfer hingga vakum ultra-tinggi (10⁻⁹ Torr).

Kemampuan Memanggang:Pemanas inframerah kuarsa opsional atau pemanas jaket memungkinkan degassing termal ruang untuk mencapai ambang batas tekanan dasar lebih cepat.

Materi Sumber yang Didukung
Logam Tahan Api:Ti, Ta, W, Mo, Cr, Ni, Au, Ag, Al, Cu.

Dielektrik & Oksida:SiO₂, TiO₂, Ta₂O₅, Al₂O₃, HfO₂, Nb₂O₅.

Kompatibilitas Substrat
Wafer Semikonduktor:Silikon 2 inci hingga 8 inci, GaAs, safir.

Substrat Optik:Lensa/prisma silika, BK7, Zerodur, germanium, dan zinc selenide yang menyatu.

Substrat Fleksibel:Film polimida (melalui perlengkapan gulungan-ke-penggulungan atau pelat pembawa khusus).

Optik Laser:Deposisi tumpukan dielektrik-hamburan,-laser-kerusakan-ambang batas (LIDT) rendah (TiO₂/SiO₂) untuk cermin-berkekuatan tinggi dan pemecah sinar.

Semikonduktor & Mikroelektronika:Deposisi logam gerbang, pembentukan kontak ohmik, dan-proses metalisasi lepas landas untuk perangkat dan sensor terpisah.

Optoelektronik:Lapisan oksida konduktif transparan (TCO) dan penguapan katoda logam untuk fabrikasi sel OLED dan fotovoltaik.

Setiap lingkungan produksi memiliki tata letak dan batasan integrasi yang unik. Modifikasi rekayasa pabrik meliputi:

Geometri Kamar:Penempatan port khusus untuk-diagnostik di tempat (misalnya, Ellipsometry, SIMS, atau RHEED).

Muat-Integrasi Kunci:Lengan transfer magnetik linier atau transfer garpu pneumatik otomatis untuk dihubungkan dengan alat cluster atau saluran glovebox.

Biasing & Pemanasan Substrat:Catu daya bias RF/DC untuk deposisi berbantuan ion (IAD) dan pemanasan media hingga 800 derajat .

Lokalisasi PLC & HMI:Siemens S7 atau Allen-Arsitektur kontrol Bradley PLC memenuhi protokol otomatisasi pabrik tertentu.

Pengujian Kebocoran:Setiap ruang baja tahan karat yang dilas diuji kebocoran spektrometer massa helium-dengan sensitivitas < 1 × 10⁻⁹ Pa·m³/s sebelum perakitan.

Uji Insulasi-Tegangan Tinggi:Pasokan daya E-gun menjalani pengujian ketahanan dielektrik pada tegangan pengenal 1,5× ditambah 1000V selama 60 detik.

Uji Penerimaan Pabrik (FAT):Sistem menjalani pengujian pembakaran terus menerus selama 72-jam-yang memverifikasi kurva kecepatan pemompaan, kalibrasi sapuan e-gun, dan keseragaman ketebalan film di seluruh media pengujian sebelum proses pengecoran.

Paket Dokumentasi:Manual komprehensif termasuk skema kelistrikan, diagram P&ID, kode sumber PLC, lembar data keselamatan material, dan sertifikat kalibrasi.

Di-Layanan Situs:Teknisi servis bersertifikat-pabrik menangani perakitan mekanis, sambungan utilitas (air pendingin, pembuangan, listrik), dan pengujian penerimaan lokasi (SAT).

Diagnostik Jarak Jauh:Integrasi router VPN yang aman memungkinkan pemecahan masalah jarak jauh, optimalisasi parameter, dan pembaruan perangkat lunak oleh teknisi proses senior.