Peralatan Deposisi Penguapan Busur

Platform pengendapan uap fisik (PVD) industri yang dirancang untuk-sintesis berkecepatan tinggi dari lapisan keras yang padat,-tahan aus, dan fungsional. Mempertahankan pelepasan busur katodik-arus,-tegangan rendah dan tinggi pada permukaan target padat akan menghasilkan aliran plasma terionisasi sebesar 80% hingga mendekati 100%.

Dikombinasikan dengan bias substrat negatif yang dapat diprogram, energi kinetik tinggi ini mendorong pencampuran antarmuka berskala atom, menghasilkan daya rekat film yang unggul dan porositas kolom nol. Arsitektur ruang mendukung konfigurasi multi-katoda modular untuk deposisi otomatis lapisan-tunggal, laminasi-lapisan nano-banyak, dan lapisan gradien stoikiometri (TiN, TiAlN, CrN, TiCN).

Tingkat Ionisasi Tinggi:Penguapan katodik langsung mengubah fluks logam menjadi-ion berkepadatan tinggi, sehingga menghasilkan struktur butiran padat tanpa rongga-mikro.

Kemudi Magnetik Aktif:Kumparan elektromagnetik yang dapat diprogram menyapu titik busur di seluruh permukaan target, menekan kawah lokal dan mendorong pemanfaatan material target melebihi 60%.

Kontrol Gas Dinamis:Pengontrol Aliran Massa (MFC) loop tertutup mengatur injeksi gas reaktif (N2, O2, C2H2) melalui umpan balik tekanan parsial waktu nyata.

Sinergi-Berbagai Sumber:Dinding ruang mengakomodasi tata letak target hibrid, memungkinkan pengendapan lapisan keramik multi-komponen secara berurutan tanpa gangguan dalam satu siklus vakum.

Kelompok Hidup Seadanya & Akar:Pompa baling-baling putar-penggerak langsung dipasangkan dengan Roots blower-perpindahan tinggi untuk menangani beban gas tinggi selama pemrosesan reaktif.

Tahap Vakum Tinggi:Magnetic levitation turbomolecular pump (>= 1600 L/s) digabungkan melalui-katup gerbang pneumatik konduktansi tinggi.

Instrumentasi Vakum:Penyiapan pengukur ganda Pirani dan Katoda Dingin yang saling bertautan memantau tekanan total berkisar dari atmosfer hingga 10^-6 Pa.

Integritas Kebocoran:Elastomer-flensa yang disegel dengan air-pendingin berjaket menjaga laju kebocoran sistem di bawah 1,0 x 10^-9 Pa*m3/s.

Bahan Sasaran Katoda
Logam & Paduan Transisi:Titanium (Ti), Kromium (Cr), Zirkonium (Zr), Aluminium (Al), Titanium-Aluminium (TiAl 50/50, 33/67), Tungsten (W).

Non-Logam:Grafit-kemurnian tinggi (C) untuk lapisan Berlian-Seperti Karbon (DLC) dan karbida.

Substrat Industri
Baja Perkakas & Karbida:Baja-Kecepatan Tinggi (HSS), Karbida Semen (WC-Co).

Paduan Struktural:Baja Tahan Karat Austenitik/Martensitik, Paduan Titanium (TC4), Superalloy berbasis Nikel-(Inconel).

Alat Pemotong Presisi:Deposisi TiAlN dan AlTiN pada bor, pabrik akhir, dan kompor roda gigi untuk meningkatkan kekerasan permukaan hingga 3300-3500 HV dan meningkatkan ketahanan oksidasi termal hingga 800 derajat.

Teknik Otomotif:Lapisan-gesekan rendah,-tahan aus pada komponen injeksi bahan bakar, ring piston, dan tappet.

Cetakan dan Mati:Deposisi kromium nitrida (CrN) pada cetakan injeksi plastik untuk mencegah keausan perekat, pengelasan-mikro, dan lengketnya resin.

Ukuran Kamar:Modifikasi geometris disesuaikan untuk panel arsitektur berukuran besar atau carousel alat kecil-throughput tinggi.

Hibridisasi Sumber:Integrasi sumber busur katodik dengan sputtering unbalanced magnetron (UBM) atau katoda HiPIMS dalam satu kesatuan.

Antarmuka Otomatisasi:Integrasi MES pabrik melalui protokol OPC-UA bersama dengan opsi penetasan pemuatan otomatis.

Verifikasi Kebocoran Helium:Pemeriksaan kebocoran spektrometer massa dilakukan pada semua pengelasan dan segel vakum.

Audit Keamanan Listrik:Pengujian isolasi hipot, pemeriksaan kontinuitas grounding, dan verifikasi loop sirkuit E-stop.

Tes Burn-In 72-Jam:Siklus kering-pengoperasian penggerak rotasi mekanis, sakelar aliran air, dan rangkaian katup PLC secara terus-menerus sebelum pembongkaran.

Pengujian Penerimaan Pabrik (FAT):Dilakukan di-lokasi untuk memvalidasi tingkat vakum dasar, stabilitas penyalaan busur, dan distribusi ketebalan garis dasar pada kupon kalibrasi.

Serah Terima Kebutuhan Fasilitas:Detailed utility drawings specifying floor loading capacity, chilled water specifications (>= 0.3 MPa, 15-25 derajat ), ekstraksi gas buang, dan penurunan pasokan daya (3 fase, 380V/480V).

Komisioning Lapangan:Pengawasan-di lokasi oleh teknisi lapangan mekanik dan listrik yang mencakup penyelarasan, pemasangan, dan batch uji coba.

Pelatihan Operator:Instruksi terstruktur tentang konfigurasi resep perangkat lunak, prosedur pertukaran target katoda, dan pemeliharaan vakum preventif.

Diagnostik Jarak Jauh:Gerbang VPN industri aman yang tertanam di panel kontrol untuk telemetri perangkat lunak dan dukungan pemecahan masalah.