Sistem Deposisi Ion Multi-Arc

The Multi-Arc Ion Deposition System performs industrial-scale cathodic arc evaporation for hard, wear-resistant, and low-friction thin films. The process achieves >Ionisasi 80% bahan katoda padat, mendorong-pemboman ion berenergi tinggi ke antarmuka substrat untuk menghasilkan daya rekat film yang unggul dibandingkan dengan sputtering magnetron.

Ruang vakum-berdinding baja tahan karat-memiliki sumber busur modular dan pompa-pengelola siklus otomatis yang dikontrol PLC-bawah, pengetsaan plasma in-situ, pengiriman gas reaktif, dan deposisi multi-lapisan.

Tingkat Ionisasi Tinggi:Meminimalkan delaminasi film melalui bombardir ion padat.

Stabilitas Busur Terkendali:Pemicu yang dapat diprogram dan regulasi arus loop tertutup menekan pembentukan makropartikel (tetesan) dan mencegah keracunan target di bawah gas reaktif (N2, C2H2, O2).

Sumber Busur Modular:Penempatan samping dan pintu beradaptasi dengan geometri alat 3D yang kompleks untuk distribusi ketebalan yang seragam.

Bias Substrat Berdenyut:Pulsa tegangan tersinkronisasi menyesuaikan tegangan sisa, kehalusan butiran, dan kekerasan mikro.

Tahapan-Rotasi Tugas Berat:Perlengkapan planetary mendukung muatan batch hingga 500 kg di bawah beban termal dan vakum yang tinggi.

Hidup seadanya & Akar:Pompa ulir kering multi-tahap yang dipasangkan dengan Roots blower mencegah kontaminasi hidrokarbon hingga tekanan transisi.

Vakum Tinggi:Pompa turbomolekuler atau difusi mempertahankan tekanan dasar yang sangat-tinggi.

Menjebak & Mengukur:Perangkap dingin nitrogen cair opsional; pengukur kombinasi Pirani/Katoda Dingin jangkauan luas.

Target Katoda:Logam murni (Ti, Cr, Al, Zr, Mo, W) dan target paduan (TiAl, TiSi, CrAl, WC-Co).

Bahan Substrat:Baja-kecepatan tinggi (HSS), sisipan karbida, baja perkakas kerja dingin/panas (SKD11, H13), baja tahan karat, dan paduan titanium.

Pra-Perawatan:Pembersihan ultrasonik dengan air diikuti dengan-pengetasan bombardir ion logam atau Ar+ di tempat untuk menghilangkan oksida asli.

Alat Pemotong:TiN, TiAlN, and AlCrN coatings on end mills and drills to achieve >Kekerasan permukaan 3000 HV dan ketahanan oksidasi.

Cetakan & Mati:Lapisan pelindung pada cetakan injeksi dan cetakan stempel untuk mencegah keausan yang menyakitkan dan abrasif.

Otomotif:Lapisan DLC dan CrN pada ring piston, roda gigi, dan pin injektor untuk menurunkan koefisien gesekan.

Alat kesehatan:Lapisan TiN/TiCN biokompatibel pada instrumen bedah dan implan.

Dimensi Ruang & Tata Letak Pelabuhan:Port volume dan pemantauan emisi optik (OEM) yang disesuaikan.

Generator:Merek-catu daya yang ditentukan pelanggan atau konfigurasi bias-berdenyut khusus.

Penyaringan:Bidang kemudi magnetis dan filter makropartikel untuk hasil akhir optik/elektronik tanpa tetesan.

Otomatisasi:Integrasi SCADA dan konektivitas database SQL untuk pencatatan data Industri 4.0.

Pengujian Kebocoran:Pengujian spektrometer massa helium pada semua lasan (<= 1.0 x 10^-9 Pa*m3/s).

Keamanan Listrik:Resistansi isolasi, grounding, dan verifikasi interlock sesuai standar CE/NFPA.

Uji Kering Fungsional:Uji siklus mekanis dan katup terus menerus selama 72 jam.

Verifikasi Proses:Pengujian kupon referensi untuk kekerasan lekukan nano dan daya rekat gores.

Pra-Pemasangan:Cetak biru tata letak utilitas disediakan untuk listrik, air, pembuangan, dan udara bertekanan.

Komisioning:Penyiapan-di lokasi dan uji coba yang diawasi oleh teknisi pabrik.

Pelatihan:Pengoperasian{0}}langsung, penggantian katoda, dan pelatihan pemeliharaan rutin.

Perawatan Siklus Hidup:Diagnostik jarak jauh VPN yang aman dan penyediaan suku cadang lokal.