Pelapisan vakum adalah suatu teknologi yang mengendapkan logam, paduan, senyawa dan bahan lainnya pada permukaan benda untuk membentuk lapisan tipis dalam lingkungan vakum melalui metode fisik atau kimia. Berikut adalah pengenalan rinci:
Prinsip:
• Deposisi Uap Fisik (PVD): Memanfaatkan proses fisik seperti penguapan dan sputtering untuk mengubah bahan pelapis menjadi atom atau molekul gas, yang kemudian mengendap di permukaan substrat untuk membentuk lapisan tipis. Misalnya, dalam pelapisan evaporasi, bahan pelapis dipanaskan hingga menguap menjadi gas. Atom atau molekul gas bergerak secara acak dalam ruang hampa dan mengendap di permukaan substrat ketika bersentuhan dengannya.
• Deposisi Uap Kimia (CVD): Melalui reaksi kimia zat kimia berbentuk gas pada permukaan substrat, zat padat dihasilkan dan diendapkan untuk membentuk lapisan tipis. Misalnya, pada kondisi suhu dan tekanan tertentu, senyawa gas yang mengandung unsur bahan pelapis terurai dan bereaksi pada permukaan substrat, dan produk padat yang dihasilkan akan mengendap pada substrat.
Metode Utama:
• Pelapisan Penguapan Vakum: Bahan pelapis ditempatkan dalam sumber penguapan dan dipanaskan hingga menguap, memungkinkan atom atau molekul keluar dan mengembun pada permukaan substrat untuk membentuk lapisan film. Biasanya digunakan untuk melapisi film logam, film dielektrik, dll.
• Lapisan Sputtering: Sinar ion yang dihasilkan oleh sumber ion membombardir bahan target pelapis, menyebabkan atom atau molekul tergagap dan mengendap di permukaan substrat untuk membentuk lapisan film. Dapat digunakan untuk melapisi berbagai film logam, paduan, dan senyawa.
• Pelapisan Ion: Dalam kondisi vakum, bahan pelapis diionisasi dan kemudian dipercepat oleh medan listrik hingga mengendap di permukaan substrat. Ini memiliki daya rekat yang kuat dan kualitas film yang bagus.
Bidang Aplikasi:
• Bidang Optik: Lapisan pada lensa optik dapat meningkatkan transmisi atau mengurangi pantulan, sehingga meningkatkan kualitas gambar; itu juga dapat digunakan untuk memproduksi cermin, filter, dan komponen optik lainnya.
• Bidang Elektronik: Dalam pembuatan perangkat semikonduktor, digunakan untuk membuat elektroda logam, lapisan penghalang, lapisan isolasi, dll.; itu juga dapat digunakan untuk melapisi komponen elektronik untuk meningkatkan ketahanan aus dan ketahanan korosi.
• Bidang Dekoratif: Melapisi emas, perak, kromium, dan film logam lainnya pada permukaan perhiasan, jam tangan, produk perangkat keras, dll., dapat meningkatkan daya tarik estetika dan kilau, serta meningkatkan ketahanan aus dan ketahanan terhadap korosi.
• Bidang Alat: Melapisi film keras seperti titanium nitrida dan titanium karbida pada permukaan alat pemotong dan cetakan dapat meningkatkan kekerasan, ketahanan aus dan pelumasan, serta memperpanjang masa pakai.
